纳米传感器-物理.化学和生物传感器

内容简介

本书是一部内容丰富、易读易用的纳米传感器论著。先介绍纳米传感器的分类和基础术语，然后概述纳米传感器加工中所运用的重要纳米材料和纳米技术的性能和特性以及纳米传感器实验室，并按照传感器类型系统地介绍纳米机械传感器、热纳米传感器、光学纳米传感器、磁纳米传感器、纳米生物传感器、化学纳米传感器的原理及如何利用物理、化学、生物等不同方法对检测量进行探测，为广大科研工作者提供全面的参考资料。本书可供从事微纳传感器件设计、加工及测试的广大MEMS/NEMS科研工作者使用，也可供相关专业大专院校师生阅读。