反射高能电子衍射在薄膜生长中的表面分析

内容简介

　　反射高能电子衍射作为一种新型的表面分析工具，是随着超高真空薄膜制备系统的发展与完善，而应用于薄膜生长中的测试分析中。本书基于表面物理与晶体衍射的原理，重点介绍了反射高能电子衍射的应用手段，包括其基本原理、标定、定量分析、强度振荡以及的相关进展。

目录

序言
前言
第1章 固体表面与表面分析方法
　1.1 表面的定义与分类
　1.1.1 表面的定义
　1.1.2 表面的分类
　1.1.3 清洁表面
　1.2 表面分析方法
　1.2.1 扫描隧道显微镜的原子力显微镜
　1.2.2 电子显微镜
　1.2.3 X射线衍射
　1.2.4 低能电子衍射
　1.3 RHEED的回顾与发展
　1.3.1 早期实验中的静态分析
　1.3.2 RHEED在薄膜生长过程中的应用
　1.3.3 RHEED的发展
第2章 表面原子结构与倒易点阵
　2.1 二维晶体学
　2.1.1 二维晶体的周期性
　2.1.2 二维晶体的对称性及点群
　2.1.3 平面群
　2.1.4 倒易点阵
　2.2 理想表面的原子结构
　2.2.1 晶面与晶向
　2.2.2 面心立方结构
　2.2.3 体心立方结构
　2.2.4 纤锌矿结构
　2.3 清洁表面的原子结构
　2.3.1 台阶表面模型
　2.3.2 表面重构
　2.3.3 表面弛豫
　参考文献
第3章 RHEED的构造与原理
　3.1 超高真空系统与清洁表面准备
　3.1.1 超高真空的获得
　3.1.2 薄膜制备系统
　3.1.3 清洁表面的准备
　3.2 电子光学系统
　3.2.1 电子枪
　3.2.2 电子的波长
　3.2.3 采集系统
　3.3 高能电子与固体表面的作用
　3.3.1 原子对电子的散射
　3.3.2 晶体对电子的衍射
　3.3.3 折射
　3.4 RHEED的衍射原理
　3.4.1 反射和透射
　3.4.2 RHEED衍射谱特征
　参考文献
第4章 RHEED衍射谱的标定
　4.1 单晶衍射谱的标定
　4.1.1 立方晶体表面
　4.1.2 消光与二次衍射
　4.1.3 密堆六方晶体表面
　4.2 孪晶衍射谱的标定
　4.2.1 畴结构的外延
　4.2.2 近重位点阵模型
　4.2.3 孪晶衍射谱
　4.3 准晶衍射谱
　4.3.1 准晶薄膜
　4.3.2 退火制备准晶
　4.3.3 准晶衬底上的外延生长
　4.4 多晶衍射谱的标定
第5章 RHEED对薄膜生长动力学的分析
第6章 RHEED强度振荡
第7章 RHEED的新应用
参考文献