光学薄膜技术+2

内容简介

本书系统地介绍薄膜光学的基本理论和器件设计的基本方法，适当地介绍一些新设计方法、新器件设计、新工艺技术。 全书共7章，主要内括：薄膜光学基础，器件设计方法，薄膜制造基本方法，高质量光学薄膜器件的工艺方法，光学薄膜材料，光学薄膜特测试能薄膜及其应用。

目录

第1章薄膜光学特计算基础

11引言

12单一界面的反射率和透射率

13单层介质膜的反射率

131单层介质膜与基底组合的等效光学导纳

132单层介质膜的光学特

14多层介质膜的反射率和透射率

15金属薄膜的光学特

16光学零件的反射率和透射率

17光学薄膜的色度表征与计算

171光学薄膜的透、反射率光谱与颜色

172CIE1931标准色度系统简介

173薄膜颜色的色度学表征

思考题与br>
第2章介质膜系及其应用

21减反射膜

211单层减反射膜

212双层减反射膜

213多层减反射膜

214高折射率基底的减反射膜

215含吸收层的防眩光减反射膜

22高反射膜

221周期多层膜堆的反射率

222（LH）S周期多层膜堆的高反射带

223高反射带的展宽

224倾斜入射时的高反射带

225金属反射膜

23中分束膜

231介质中分光镜

232偏振中分束棱镜

233金属中分光镜

24截止滤光片

241多层膜堆的通带透射率

242通带波纹的压缩

243通带的展宽和压缩

244截止波长和截止带中心的透射率

245截止滤光片倾斜使用时的偏振效应

246截止滤光片的应用

25带通滤光片

251法布里-珀罗滤光片特

252全介质法布里-珀罗滤光片

253诱导透射滤光片

254法布里-珀罗滤光片的应用

255宽带通滤光片

26偏振分束膜

261胶合棱镜介质偏振分光膜

26板介质偏振分光镜

263金属栅偏振分光镜

27消偏振膜系

271单波长消偏振

272受抑全反射宽波段消偏振分光镜

273金属-介质组合膜堆宽波段消偏振

274消偏振截止滤光片

思考题与br>
第3章光学薄膜制造技术

31光学真空镀膜机

32真空与物理气相沉积

33真空获得与检测

331真空泵

332低温冷凝泵

333PVD使用的高真空系统

334真空度的检测

34热蒸发

35溅射

351辉光放电溅射

352磁控溅射

353离子束溅射

354离子、靶材与溅射率

36离子镀

37离子辅助镀

38等离子体增强化学气相沉积

381PECVD过程的动力学

382PECVD装置

思考题与br>
第4章光学薄膜制造工艺

41光学薄膜器件的质量要素

42影响膜层质量的工艺要素

421影响薄膜器件质量的工艺要素及作用机理

422提高膜层机械强度的工艺途径

423控制膜层折射率的主要工艺途径

424获得致密膜层的方法

43获得厚度的方法

431目视法

432极值法

433光电定值法

434任意膜厚的单波长监控

435石英晶振法

436宽光谱膜厚监控

44获得均匀膜层的方法

441影响膜层厚度均匀的因素

442获得均匀膜层厚度的途径

思考题与br>
第5章薄膜材料及其质

51薄膜的微观结构与质

511薄膜结构的材料学基础

512薄膜的光学质

513薄膜的力学质

52常用光学薄膜材料

521金属薄膜

522介质薄膜

523特殊材料

思考题与br>
第6章光学薄膜特测试与分析

61光学薄膜特的检测标准

611国标（JB/T 6179—92）中规定的光学零件镀膜的分类、符号及标注

612国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检测项目

613国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜试验方法

614国标（JB/T 8226—1999）中规定的光学零件镀膜检验规则

62薄膜透射率、反射率的测量

621光谱仪的基本原理

622薄膜透射率的测量

623薄膜反射率的测量

63薄膜光学常数和厚度的测量

631光度法确定薄膜的光学常数

632椭圆偏振法确定薄膜的光学常数

633薄膜厚度的测量

64薄膜吸收和散射的测量

641薄膜吸收损耗的测量

642薄膜散射损耗的测量

65薄膜激光损伤阈值的测量

651薄膜激光损伤的机理分析

652薄膜激光损伤阈值的测量标准及方法

653薄膜抗激光损伤阈值测量中应注意的几个问题

66薄膜非光学特的检测

661薄膜附着力的测量

662薄膜应力的测量

663薄膜的环境试验

664薄膜结构和化学成分检测

思考题与br>
第7能薄膜及其应用

71透明导电薄膜

711透明导电薄膜的分类

712透明导电薄膜的基本特

713透明导电氧化物薄膜的制备

714透明导电氧化物薄膜的特测试

715透明导电氧化物薄膜的应用

72太阳能薄膜

721太阳能光热转换薄膜

722太阳能光电转换薄膜

73超硬薄膜材料

731金刚石薄膜

732类金刚石（DLC）薄膜

733立方氮化硼薄膜

734x薄膜

735其他硬质薄膜

74相位膜

741屋脊棱镜的偏振像差

742矫正偏振像差的相位膜

743屋脊棱镜偏振像差的表征与检测

思考题与br>
附录A常见薄膜材料参数

参考文献