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内容简介
本书从CMOS芯片结构技术出发，系统地介绍了微米﹑亚微米﹑深亚微米及纳米CMOS制造技术，内括单阱 CMOS﹑双阱CMOS﹑LV/HV 兼容 CMOS﹑BiCMOS﹑LV/HV兼容BiCMOS，以及LV/HV兼容BCD制造技术。全书各章都采用由CMOS芯片主要元器件﹑制造技术及主要参数所组成的综合表，从芯片结构出发，利用计算机和它所提供的软件，描绘出芯片制造的各工序剖面结构，从而得到制程剖面结构。书中给出了100种典型CMOS芯片结构，介绍了各种典型制造技术，并描绘出50种制程剖面结构。深入地了解芯片制程剖面结构，对于电路设计﹑芯片制造﹑良率提升﹑产品质量提高及电路失效分析等都是十分重要的。本书技术含量高，实用，可作为芯片设计﹑制造﹑测试及可靠等方面工程技术人员的重要参考资料，也可作为微电子专业高年级本科生的重要参考书，还可供信息领域其他专业的学生和相关科研人员﹑工程技术人员参考。
目录
第1章 LSI/VLSI制造基本技术 11.1 基础工艺技术 11.1.1 基础工艺技术 11.1.2 工艺制程 31.1.3 工艺一体化 41.2 器件隔离技术 41.2.1 LOCOS隔离 41.2.2 浅槽隔离 61.2.3 PN结隔离 71.3 衬底与阱技术 81.3.1 CMOS工艺与阱的形成 81.3.2 可靠与阱技术 101.3.3 外延与SOI衬底 101.4 栅与源﹑漏结的形成技术 111.4.1 栅工艺 111.4.2 源﹑漏结构的形成 121.4.3 漏极技术 131.5 接触的形成与多层布线技术 131.5.1 接触的形成 141.5.2 金属化系统 141.5.3 多层布线工艺与平坦化技术 141.6 BiCMOS技术 151.7 LV/HV兼容技术 161.7.1 LV/HV兼容CMOS 161.7.2 LV/HV兼容BiCMOS 171.7.3 LV/HV兼容BCD 181.8 MOS集成电路工艺设计 191.8.1 硅衬底参数设计 201.8.2 栅介质材料 201.8.3 栅电极材料 211.8.4 阈值电压设计 211.8.5 工艺参数设计 221.9 MOS集成电路设计与制造技术关系 241.9.1 芯片结构及其参数 251.9.2 芯片结构技术 251.9.3 芯片制造 26第2章 单阱CMOS芯片与制程剖面结构 282.1 P-Well CMOS(A) 282.1.1 芯片平面/剖面结构 292.1.2 工艺技术 322.1.3 工艺制程 322.2 P-Well CMOS(B) 342.2.1 芯片剖面结构 342.2.2 工艺技术 352.2.3 工艺制程 382.3 P-Well CMOS(C) 392.3.1 芯片剖面结构 402.3.2 工艺技术 402.3.3 工艺制程 432.4 HV P-Well CMOS 452.4.1 芯片剖面结构 462.4.2 工艺技术 462.4.3 工艺制程 492.5 N-Well CMOS(A) 512.5.1 芯片平面/剖面结构 522.5.2 工艺技术 552.5.3 工艺制程 552.6 N-Well CMOS(B) 572.6.1 芯片剖面结构 572.6.2 工艺技术 582.6.3 工艺制程 612.7 N-Well CMOS(C) 622.7.1 芯片剖面结构 632.7.2 工艺技术 632.7.3 工艺制程 662.8 HV N-Well CMOS 672.8.1 芯片剖面结构 682.8.2 工艺技术 692.8.3 工艺制程 71第3章 双阱CMOS芯片与制程剖面结构 733.1 亚微米CMOS(A) 743.1.1 芯片平面/剖面结构 753.1.2 工艺技术 793.1.3 工艺制程 803.2 亚微米CMOS(B) 813-2-1 芯片剖面结构 823.2.2 工艺技术 823.2.3 工艺制程 853.3 亚微米CMOS(C) 873.3.1 芯片剖面结构 873.3.2 工艺技术 883.3.3 工艺制程 913.4 深亚微米CMOS(A) 933.4.1 芯片剖面结构 943.4.2 工艺技术 943.4.3 工艺制程 973.5 深亚微米CMOS(B) 993.5.1 芯片剖面结构 993.5.2 工艺技术 1003.5.3 工艺制程 1033.6 深亚微米CMOS(C) 1053.6.1 芯片剖面结构 1063.6.2 工艺技术 1063.6.3 工艺制程 1113.7 纳米CMOS(A) 1123.7.1 芯片剖面结构 1133.7.2 工艺技术 1143.7.3 工艺制程 1153.8 纳米CMOS(B) 1183.8.1 芯片剖面结构 1193.8.2 工艺技术 1203.8.3 工艺制程 1223.9 纳米CMOS(C) 1243.9.1 芯片剖面结构 1253.9.2 工艺技术 1253.9.3 工艺制程 1293.10 纳米CMOS(D) 1303.10.1 芯片剖面结构 1313.10.2 工艺技术 1323.10.3 工艺制程 137第4章 LV/HV兼容CMOS芯片与制程剖面结构 1394.1 LV/HV P-Well CMOS(A) 1404.1.1 芯片平面/剖面结构 1404.1.2 工艺技术 1414.1.3 工艺制程 1454.2 LV/HV P-Well CMOS(B) 1474.2.1 芯片剖面结构 1484.2.2 工艺技术 1484.2.3 工艺制程 1514.3 LV/HV P-Well CMOS(C) 1524.3.1 芯片剖面结构 1534.3.2 工艺技术 1544.3.3 工艺制程 1574.4 LV/HV N-Well CMOS(A) 1584.4.1 芯片剖面结构 1594.4.2 工艺技术 1604.4.3 工艺制程 1634.5 LV/HV N-Well CMOS(B) 1644.5.1 芯片剖面结构 1654.5.2 工艺技术 1664.5.3 工艺制程 1684.6 LV/HV N-Well CMOS(C) 1704.6.1 芯片剖面结构 1714.6.2 工艺技术 1714.6.3 工艺制程 1744.7 LV/HV Twin-Well CMOS(A) 1764.7.1 芯片剖面结构 1774.7.2 工艺技术 1774.7.3 工艺制程 1814.8 LV/HV Twin-Well CMOS(B) 1824.8.1 芯片剖面结构 1834.8.2 工艺技术 1844.8.3 工艺制程 187第5章 BiCMOS芯片与制程剖面结构 1895.1 P-Well BiCMOS[C] 1905.1.1 芯片平面/剖面结构 1915.1.2 工艺技术 1955.1.3 工艺制程 1965.2 P-Well BiCMOS[B]-(A) 1975.2.1 芯片剖面结构 1985.2.2 工艺技术 1995.2.3 工艺制程 2025.3 P-Well BiCMOS[B]-(B) 2035.3.1 芯片剖面结构 2045.3.2 工艺技术 2055.3.3 工艺制程 2085.4 N-Well BiCMOS[C] 2105.4.1 芯片剖面结构 2105.4.2 工艺技术 2115.4.3 工艺制程 2135.5 N-Well BiCMOS[B]-(A) 2155.5.1 芯片剖面结构 2165.5.2 工艺技术 2165.5.3 工艺制程 2205.6 N-Well BiCMOS[B]-(B) 2225.6.1 芯片剖面结构 2225.6.2 工艺技术 2235.6.3 工艺制程 2275.7 Twin-Well BiCMOS[B]-(A) 2295.7.1 芯片剖面结构 2305.7.2 工艺技术 2305.7.3 工艺制程 2345.8 Twin-Well BiCMOS[B]-(B) 2365.8.1 芯片剖面结构 2375.8.2 工艺技术 2375.8.3 工艺制程 241第6章 LV/HV兼容BiCMOS芯片与制程剖面结构 2446.1 LV/HV P-Well BiCMOS[C] 2446.1.1 芯片平面/剖面结构 2456.1.2 工艺技术 2456.1.3 工艺制程 2506.2 LV/HV P-Well BiCMOS[B]-(A) 2516.2.1 芯片剖面结构 2526.2.2 工艺技术 2526.2.3 工艺制程 2566.3 LV/HV P-Well BiCMOS[B]-(B) 2586.3.1 芯片剖面结构 2596.3.2 工艺技术 2596.3.3 工艺制程 2636.4 LV/HV N-Well BiCMOS[C] 2646.4.1 芯片剖面结构 2656.4.2 工艺技术 2666.4.3 工艺制程 2696.5 LV/HV N-Well BiCMOS[B]-(A) 2706.5.1 芯片剖面结构 2716.5.2 工艺技术 2726.5.3 工艺制程 2756.6 LV/HV N-Well BiCMOS[B]-(B) 2776.6.1 芯片剖面结构 2786.6.2 工艺技术 2786.6.3 工艺制程 2826.7 LV/HV Twin-Well BiCMOS[C] 2836.7.1 芯片剖面结构 2846.7.2 工艺技术 2856.7.3 工艺制程 2886.8 LV/HV Twin-Well BiCMOS[B] 2906.8.1 芯片剖面结构 2916.8.2 工艺技术 2916.8.3 工艺制程 294第7章 LV/HV兼容BCD芯片与制程剖面结构 2967.1 LV/HV P-Well BCD[C] 2977.1.1 芯片平面/剖面结构 2987.1.2 工艺技术 2987.