中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题

内容简介

本书试图以产业发展主流工艺为导向, 侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍, 尽量避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定地对芯片生产制造工艺中的关键单项工行描述, 并在单项工艺角色介绍后, 解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。

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