流体辅助微纳抛光原理与技术

内容简介

本书详细阐述了适用于精密光学元件制造的流体辅助微纳抛光原理与技术，针对于每一种工艺方法进行了的描述，涉及起源与发展、原理、优缺点、具体的加工设备以及相关的工艺。《BR》　　全书分为9章，第1章对光学加工进行了综述，其他章节分别介绍了磁介质辅助加工技术、磁流变抛光技术、电流变抛光技术、气射流抛光技术、水射流抛光技术、磁射流抛光技术、浮法抛光技术、化学抛光。